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SPC輸出線:1m 936937 / 2m 965014
| 機型 | SJ-210 標準驅動 | SJ-210 退避型驅動 | SJ-210 橫向驅動 | |
|---|---|---|---|---|
| 三豐編號 | 178-561-01A | 178-563-01A | 178-565-01A | |
| 量測力 | 0.75 mN | |||
| 固定長度 (X軸) | 1.75mm | 5.6mm | ||
| 固定範圍 (Z軸) | 360µm(-200µm~+160µm) | |||
| 解析度/測定範圍 | 0.02 µm / 360 µm, 0.006µm / 100µm, 0.002 µm / 25um | |||
| 參數值 | Ra, Ry, Rz, Rq, S, Sm, Pc, R3z, mr(c), Rt, Rp, Pk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Rlr, Rmr, RC, Rmax, RV, Rsk, Rku, RC, RPc, Rsm, Rzlmax, HSC, RzJIS, Rppi, RΔα, RΔ9, Rmr(c), Rδc, Rpm, tp, Htp, R, Rx, AR | |||
| 擷取長度 | λc | 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm | ||
| λs | 2.5µm, 8µm | |||
| 適用規範 | JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, VDA, ISO 97, ANSI | |||
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