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CMS系列气体流量计是检测部分采用感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。这一传感器直接安装于流体管路中，可以测极低流速的流体流量。利用微型机械技术制造的小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，实现高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。
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