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奈米深度3D形状显微检测仪 SWIM白光干涉仪使用说明书下载

特色

1. 奈米深度3D检测
2. 高速／无接触量测
3. 表面形状／粗糙度分析
4. 非透明／透明材质适用
5. 非电子束／非雷射的安全量测

奈米3D显微形貌快速呈现

SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析，并追溯至ISO国际规范。

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪，具有*的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到测量样品的3D图形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或雷射，开机快又安全。

无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是透明材质，只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测，应用领域包含：

1. 玻璃镜片

2. 镀膜表面

3. 晶圆（Wafer）

4. 光盘／硬盘（DVD Disk／Hard Disk）

5. 微机电组件（MEMS Components）

6. 平面液晶显示器（LCD）

7. 高密度线路印刷电路板（ HDI PCB ）

8. IC封装（ IC Package）

9. 精密微机械组件（Micro Mechanical Parts）

10. LED基板表面微图案结购 (LED Subtract Micro-pattern)

11. 以及其它材料分析与组件微表面研究。

相移垂直扫描技术，使深度分辨率达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm，平面空间分辨力0.61nm(50X物镜)的量测能力，达12μm/s的垂直扫描速度，所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所的工具。

机台规格 (以下为标准机台规格, 另可依客户需求增加电动平台或自动对焦模块)

型号	SWIM 1510MS
显示器主架构	显微镜本体0.5X
物镜放大倍率	10X		20X		50X
观察与量测范围长X 宽 mm	1.67 X 1.33		0.84 X 0.67		0.34 X 0.27

光学分辨率 (mm)	1.12		0.84		0.61
工作距离 (mm)	7.4		4.7		3.4
量测用光学系统	白光干涉显微光学系统
高度测量	测量范围			100 mm ( 400 mm, 选配)
	量测分辨率			0.1 nm
	重复精度(σ) (1)			≦ 0.1 % ( 量测高度： > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量测高度：1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量测高度： <1 m m )
	量测控制			自动
	扫瞄速度 (nm ／s)			12 （）
观察与量测用光源	光源类型			仪器用卤素光源
	平均使用寿命			1000小时
	光强度调整			自动／手动
取像单元	影像传感器			黑白 CCD数位摄像机
	传感器分辨率			1280 x 1024像素

样品移动平台	观察移动平台	行程		150 mm x 100 mm, 手动
		载重		大于 10 kg
	Z 轴移动范围			80 mm，手动
	位置数字显示单元			三轴光学尺与三轴数字显示器 (分辨率1 mm)
	倾斜调整平台			手动
	底座			花岗岩
数据处理与显示用计算机	处理运算单元			双核心CPU
	影像与数据显示屏幕			17” 液晶屏幕
	存储装置			160 GB 以上硬盘机
	操作系统			WindowsXP (2)
电源	AC110V ／220V ，50Hz ／60Hz
重量	约150 kg (含花岗岩底座)
分析软件	WindowsXP 兼容的影像撷取与分析软件, 包含 ISO 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波, 多样的 2D和 3D 观测视角图, 外形／面积／体积分析, 图像缩放, 标准影像档案格式转换, 报表输出等等。
阶高标准片(选配)	提供 50 nm-- 150 mm 多种规格