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标准型白光干涉仪使用说明书下载

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更新时间:2024-11-03

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产品详情

奈米深度3D形状显微检测仪 1510MSSWIM白光干涉仪使用说明书下载

1. 奈米深度3D检测
2. 高速/无接触量测
3. 表面形状/粗糙度分析
4. 非透明/透明材质适用
5. 非电子束/非雷射的安全量测

奈米3D显微形貌快速呈现

SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。

SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有*的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全。

无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是透明材质,只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测,应用领域包含:

1. 玻璃镜片

2. 镀膜表面

3. 晶圆(Wafer)

4. 光盘/硬盘(DVD Disk/Hard Disk)

5. 微机电组件 (MEMS Components)

6. 平面液晶显示器(LCD)

7. 高密度线路印刷电路板( HDI PCB )

8. IC封装( IC Package)

9. 精密微机械组件(Micro Mechanical Parts)

10. LED基板表面微图案结购 (LED Subtract Micro-pattern)

11. 以及其它材料分析与组件微表面研究。

相移垂直扫描技术,使深度分辨率达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm,平面空间分辨力0.61nm(50X物镜)的量测能力,达12μm/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所的工具。

机台规格 (以下为标准机台规格, 另可依客户需求增加电动平台或自动对焦模块)

型号

标准型 SWIM 1510MS

显示器主架构

显微镜本体1X

物镜放大倍率

10X

20X

50X

观察与量测范围 长X 宽 mm

0.43 X 0.32

0.21 X 0.16

0.088 X 0.066

光学分辨率 (mm)

1.12

0.84

0.61

工作距离 (mm)

7.4

4.7

3.4

量测用光学系统

白光干涉显微光学系统

高度测量

测量范围

100 mm ( 400 mm, 选配)

量测分辨率

0.1 nm

重复精度(σ) (1)

≦ 0.1 % ( 量测高度: > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量测高度:1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量测高度: <1 m m )

量测控制

自动

扫瞄速度 (mm /s)

12 ()

观察与量测用光源

光源类型

仪器用卤素光源

平均使用寿命

1000小时

光强度调整

自动 /手动

取像单元

影像传感器

黑白 CCD数位摄像机

传感器分辨率

640 x 480 像素

样品移动平台

观察移动平台

行程

150 mm x 100 mm, 手动

载重

大于 10 kg

Z 轴移动范围

80 mm,手动

位置数字显示单元

三轴光学尺与三轴数字显示器 (分辨率1 mm)

倾斜调整平台

手动

底座

花岗岩

数据处理与显示用计算机

处理运算单元

双核心CPU

影像与数据显示屏幕

17” 液晶屏幕

存储装置

160 GB 以上硬盘机

操作系统

WindowsXP (2)

电源

AC110V /220V ,50Hz /60Hz
重量
约150 kg (含花岗岩底座)
分析软件
WindowsXP 兼容的影像撷取与分析软件, 包含 ISO 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波, 多样的 2D和 3D 观测视角图, 外形/面积/体积分析, 图像缩放, 标准影像档案格式转换, 报表输出等等。
阶高标准片(选配)
提供 50 nm-- 150 mm 多种规格


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发布询价单

昆山拓尔精密仪器有限公司

型:
经销商
联系人:
张飞宇

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商家概况

主营产品:
影像测量仪,三坐标测量仪,工具显微镜,光栅尺
公司性质:
经销商

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