产品详情
产品描述:SJ系列玻璃基板搬运机器人用于搬运第5代到第8代平板显示器用大型玻璃基板的机器人。通过采用屈伸型结构,发挥高洁净性能,于需要控制颗粒的无尘车间内的作业。
产品特点:应用于第7代~第9代基板的系列产品: 适用于包括第7代的SJ80C,以及第8,9代的SJ120C,级别的旋转速度和前后轴速度: 在所有尺寸中均缩短了周期,上下轴采用的连杆结构: 能够抑制弯曲和振动的高刚度结构,无带式结构,确保高可靠性和安全性,活动部分的布线全部内置于手臂内: 防止发生微米级尘埃,并使外观保持整洁。
产品参数:
系列 | SJ80C | SSJ120CJ120C | ||||
机器人型号 | SJ80C-18D-01 | SJ80C-24D-01 | SJ120C-28D-01 | SJ120C-28S-01 | ||
清洁度 | 10级(0.3μm)*1 | 10级(0.3μm)*2 | ||||
自由度 | 4 | 4 | 3 | |||
驱动方式 | AC伺服方式 | |||||
最 | X1 | 前后1 | 3,670mm | 4,480mm | ||
X2 | 前后2 | 3,670mm | 4,480mm | |||
θ | 转动 | (+145°~-195°) | (+195°~-145°) | |||
Z | 上 下 | 1,800mm | 2,400mm | 2,800mm | ||
最 | X1 | 前后1 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec | ||
X2 | 前后2 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec | - | ||
θ | 转动 | 3.14rad/sec (180°/sec) | ||||
Z | 上 下 | 1,100mm/sec | 1,450mm/sec | 1,050mm/sec | ||
搬运重量 | 每个臂80kg(合计135kg) | 90kg | 120kg | |||
位置反复精度 | ±0.3mm | |||||
周围温度 | 0~35°C | |||||
设置条件 | 落地式 | |||||
主机重量 | 1,175kg | 1,200kg | 1,880kg | 1,680kg |
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